2021-10-13 17:19:15
本文關鍵字：質量流量控制器

　　質量流量控制器用于對于液體或者氣體的質量流量進行準確測量和控制。廣泛用于真空鍍膜，毛細管測量氣象色譜儀，光纖熔煉，光導纖維制造，混氣配氣系統，微反應裝置等設備中。以及冶金，石油化工，制藥等行業。

　　質量流量控制器的測量原理：通過測量氣體流經流量計內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件，其中一個作為溫度檢測，另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。質量流量控制器具有擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入中等功能，具有精度高，重復性好等特點，可以廣泛用于冶金，制藥，石油化工等。

　　質量流量控制器的電磁閥是調治閥，不是截止閥，不能當截止閥用，用戶應另配截止閥。特別是用戶如果使用的是腐化性氣體，通常應該在進出氣口各加裝一個截止閥，以包管寧靜。