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流量儀表

PZ10-HS-DS質(zhì)量流量計(jì)/控制器

2021/11/25 15:28:55

質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精 密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、 環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括:電子工藝 設(shè)備,如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔 煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。...


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1、PZ10-HS-DS質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品展示:


PZ10-DS質(zhì)量流量計(jì).jpg
PZ10-DS質(zhì)量流量計(jì)
 

產(chǎn)品簡介:

質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精 密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、 環(huán)境保護(hù)和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括:電子工藝 設(shè)備,如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔 煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

 


工作原理:

PZ10-HS/DS 系列氣體質(zhì)量流量控制器較好的精度、堅(jiān)固性及可靠性源于我公司特別的 傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器,能自動(dòng)校正溫度 及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值,然后測量氣體流量的降溫效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的 原理計(jì)算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級(jí)白金電阻溫度探測器(RTD)。白金 RTD 絲纏繞在堅(jiān)固 的陶瓷芯軸上,牢固且可靠。整個(gè)傳感器密封在 316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。


 
主要技術(shù)指標(biāo):

1

量程范圍

(0~500,1000,1500,2000,2500,3000...)SLM

2

準(zhǔn) 確 度

±0.5%F.S/±1.0%F.S

3

    

±0.5%F.S

4

重復(fù)精度

±0.2%F.S

5

響應(yīng)時(shí)間

電特性:1sec 氣特性:(1~4)sec

6

工作壓差

0.02~1.0Mpa

7

    

3Mpa,10Mpa

8

工作環(huán)境溫度

0~50℃

9

數(shù) 字 量

RS485/232 MODBUS 協(xié)議

10

模 擬 量

DC 0~5V ,1~5V,4~20mA 可選

11

    

DC ±15V/24V 可選,電源功率≥20W

12

電氣連接

DB15 

13

    

1×10-9SCCSHe

14

底座材質(zhì)

316L 不銹鋼

15

密封材質(zhì)

氟橡膠,聚四氟乙烯,丁晴橡膠

16

氣路接頭

3/4〞,Φ20,Φ25,法蘭連接




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